日立ハイテクと東京大学が切り拓く！半導体分野の高分解能Laser-PEEMの実用化に向けた共同研究の最新情報 #日立ハイテク #東京大学 #Laser-PEEM

日立ハイテクと東京大学が進める高分解能Laser-PEEMの研究が、半導体製造に革新をもたらす。実用化の道筋とその展望を紹介します。